針對圖像傳感器制造商限制對華銷售航天級多光譜芯片的問題,我司研制成功4譜、5譜、9譜、32譜等多光譜濾光片。目前研制的航天級多光譜濾光片已經(jīng)成功應(yīng)用于多項(xiàng)國家重大型號衛(wèi)星以及吉林1號衛(wèi)星中,獲得了非常好的圖像及光譜數(shù)據(jù)。
多光譜濾光片衛(wèi)星項(xiàng)目支持——
多光譜濾光片采用光刻+鍍膜復(fù)合工藝精密制作,采用高精度復(fù)制光刻技術(shù)制作沉積掩膜,在沉積圖案制每個(gè)譜段的高性能濾光薄膜。多光譜濾光片具備高透過率,擁有優(yōu)異的濾光特性,多個(gè)濾光通道集成于單一基片,空間位置對準(zhǔn)精度極高。通道寬度及通道間隙可做到百微米量級,光譜通帶透過率高于95%,帶外截止度低于0.1%,光譜通道對準(zhǔn)精度優(yōu)于2微米,多光譜通道間隔離區(qū)反射率低于3%、透過率低于0.1%。
線性漸變?yōu)V光片衛(wèi)星項(xiàng)目支持——
線性漸變?yōu)V光片采用連續(xù)鍍膜的方式,基于多層楔形薄膜結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)空間連續(xù)變化的濾光特性??筛鶕?jù)色散需求調(diào)節(jié)薄膜斜率從而獲得目標(biāo)線性變化率。線性漸變?yōu)V光片具備高集成度的分光能力,在光譜儀器的小型化、輕量化設(shè)計(jì)中具備不可替代的優(yōu)勢。